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G4電子級過氧化氫是大規(guī)模集成電路生產工藝中所必需的電子化工原料,工業(yè)過氧化氫中含有一些雜質離子和少量的有機雜質,影響產品的質量,須采用高抗氧化性的精制陽、陰樹脂去除陽陰雜質離子(雙氧水中各種雜質陰離子可以降低到100ppb以下,金屬陽離子可以降低到20ppb以下),采用大孔吸附樹脂吸附法處理可有效降低TOC。
應用
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主要用途及特性
用于G4電子級雙氧水精制去除TOC降低到15ppm以下。 ...更多
用于G4電子級雙氧水精制去除雜質陰離子可以降低到100ppb以下。 ...更多
用于G4電子級雙氧水精制去除金屬陽離子至20ppb以下。 ...更多
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